专利
MOEMS二分量加速度传感器、测量系统及工作方法
  • 所属单位:
    控制科学与工程学院
  • 专利类型:
    发明
  • 申请号:
    201910865799.3
  • 发明人数:
    5
  • 是否职务专利:
  • 申请日期:
    2019-09-12
  • 公开日期:
    2022-02-08
  • 授权日期:
    2022-02-08

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