专利
MOEMS二分量加速度传感器、测量系统及工作方法
发布时间:2022-09-15
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所属单位:
控制科学与工程学院
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专利类型:
发明
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申请号:
201910865799.3
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发明人数:
5
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是否职务专利:
否
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申请日期:
2019-09-12
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公开日期:
2022-02-08
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授权日期:
2022-02-08
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