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所属单位：材料科学与工程学院

论文名称：Characterization and Analysis of Dlc Films with Different Thickness Deposited by Rf Magnetron Pecvd

发表刊物：Rare Metals

第一作者：校外负责人

全部作者：王琦,王美,费振义,李木森,XWFZR

论文编号：lw-168828

卷号：31

期号：2

页面范围：198

是否译文：否

发表时间：2012-04

发布时间：2019-10-24