一种原位光辅助铜沉积光催化剂的制备方法及原子层沉积装置

发布时间:2023-06-27|点击次数:

所属单位:晶体材料研究院

专利类型:发明

申请号:202210438733.8

发明人数:8

是否职务专利:否

申请日期:2022-04-25

公开日期:2023-05-30

授权日期:2023-05-30