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项目名称：MEMS悬空膜结构传感芯片失效分析研究

所属单位：微生物技术研究 院（微生物改造技术全国重点实验室）

负责人姓名：王森

项目性质：横向

项目编号：31D7CDABB5EE2ED8E0635C00A8C00134

立项时间：2025-04-02

计划完成时间：2025-12-30

结项日期：2025-12-30

开始日期：2025-04-02

发布时间：2025-04-08