理论研究半导体薄膜生成反应的动力学
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所属单位:化学与化工学院
负责人姓名:王少坤,王少坤
项目来源单位:省科技厅
项目性质:纵向
项目级别:省、部委级
项目参与人员:王少坤,王少坤
项目编号:kyxm-13415
立项时间:2009-01-01
计划完成时间:2011-12-31
结项日期:2011-12-31
开始日期:2009-01-01
项目批准号:Y2008B37
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