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项目名称：电子束曝光技术制作微系统器件掩模的研究
所属单位：控制科学与工程学院
项目来源单位：科技厅
项目性质：纵向
项目级别：省、部委级
项目参与人员：314000031920,魏守水,尹明,胡咏梅,杨立才,张明,孙晓军
项目编号：kyxm-5806
项目批准号：022090105
立项时间：2002-12-01
计划完成时间：2005-12-01
结项日期：2005-12-01
开始日期：2002-12-01
发布时间：2019-04-18