项目名称：

超临界二氧化碳微乳液在半导体纳米器件清洗技术中的应用

所属单位：

物理学院

负责人姓名：

李玉香

项目来源单位：

08攻关三批

项目性质：

纵向

项目级别：

省、部委级

项目参与人员：

李玉香,李玉香,肖洪地,刘建强,赵丽丽

项目编号：

kyxm-3514

项目批准号：

8GG3003007

立项时间：

2008-01-01

计划完成时间：

2010-12-31

结项日期：

2010-12-31

开始日期：

2008-01-01

发布时间：

2019-04-18