项目名称：

集成电路芯片制造中新型环保清洗技术及产业研发

所属单位：

物理学院

负责人姓名：

王卿璞

项目来源单位：

08信息产业厅

项目性质：

纵向

项目级别：

地(市、州)级

项目参与人员：

王卿璞,李玉香,刘建强,肖洪地

项目编号：

kyxm-4811

项目批准号：

2008R0048

立项时间：

2008-09-01

计划完成时间：

2010-12-31

结项日期：

2010-12-31

开始日期：

2008-09-01

发布时间：

2019-04-18