所属单位：

物理学院

论文名称：

采用射频磁控溅射法在Si (111) 衬底上生长β-Ga2O3 薄膜

发表刊物：

《功能材料》

第一作者：

肖洪地

全部作者：

马瑾,林兆军,宗福建,张锡健,栾彩娜

论文类型：

基础研究

论文编号：

lw-73891

卷号：

v 37

期号：

n SUPPL.

页面范围：

1

是否译文：

否

发表时间：

2006-10

发布时间：

2019-04-14