Lift-Off Mechanism of GaN Thin Films with Buried Nanocavities Investigated by SEM and TEM
发布时间：2020-03-20
点击次数：
- 所属单位：
- 集成电路学院
- 论文名称：
- Lift-Off Mechanism of GaN Thin Films with Buried Nanocavities Investigated by SEM and TEM
- 发表刊物：
- Journal of ELECTRONIC MATERIALS
- 第一作者：
- 杨小坤
- 全部作者：
- 肖洪地,马瑾,刘建强,栾彩娜,毛宏志
- 论文编号：
- 9600585BF2564969BC16220CA429D8C2
- 卷号：
- 48
- 期号：
- 5
- 页面范围：
- 3036
- 字数：
- 3
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2019-05
- 发布时间：
- 2020-03-20