Synthesis and characterization of single-crystalline delta-Ta2O5 epitaxial films on Y-stabilized ZrO2 (111) substrates
发布时间：2021-05-28
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- 所属单位：
- 集成电路学院
- 发表刊物：
- Ceramics International
- 第一作者：
- 乐永
- 论文编号：
- 6116E1F3B7E64F9D9EA9BB812731DEF9
- 卷号：
- 47
- 期号：
- 4
- 页面范围：
- 5510
- 字数：
- 4600
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2021-02-15