Heteroepitaxial growth of the δ-Ta2O5 films on a-Al2O3(0001)
发布时间：2022-12-17
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- 所属单位：
- 集成电路学院
- 发表刊物：
- Journal of Materials Science-Materials in Electronics
- 第一作者：
- 马瑾
- 论文编号：
- 82B66AFBC45F46DE928D3AE918047B0B
- 期号：
- 33
- 字数：
- 4
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2022-01-18