可转移氧化镓单晶薄膜的制备方法

发布时间:2022-10-13
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所属单位:
微电子学院
专利类型:
发明
申请号:
202010998919.X
发明人数:
1
是否职务专利:
申请日期:
2020-09-22
公开日期:
2022-09-27
授权日期:
2022-09-27