高品质光刻胶及光刻工艺研究

发布时间:2019/12/28|点击次数:

所属单位:国家胶体材料工程技术研究中心

负责人姓名:康文兵

项目来源单位:2019年山东省重点研发计划(重大科技创新工程竞争择优类)

研究类别:研究与发展成果应用

项目性质:纵向

项目级别:省、部委级

项目参与人员:康文兵,王文寿,王旭,占金华,辛霞,夏玉国

项目编号:9A840AD87EE42C8FE053BE07C2CACACD

立项时间:2019/11/21

计划完成时间:2021/12/31

结项日期:2021/12/31

开始日期:2019/01/01

项目批准号:2019JZZY020229