所属单位：材料科学与工程学院

论文名称：Large piezoelectricity on Si from highly (001)-oriented PZT thick films via a CMOS-compatible sputtering/RTP process

发表刊物：Materialia

第一作者：欧阳俊

全部作者：闫静,闫鹏,欧阳俊

论文编号：F03F8223187842FA8E030EC46C967D34

字数：10

是否译文：否

发表时间：2019-03