于浩海

(教授)


教师姓名:于浩海
入职时间:2008-07
所在单位:晶体材料研究院(晶体材料全国重点实验室)
性别:男
职称:教授

科研项目

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半导体晶圆缺陷检测仪器制备技术

发布时间:2024-04-16 | 点击次数:

所属单位:晶体材料研究院(晶体材料全国重点实验室)

负责人姓名:于浩海

项目来源单位:2022年山东省重点研发计划(重大科技创新工程)

项目性质:纵向

项目级别:省、部委级

项目编号:E045539D9A7B0A42E053BE07C2CA71BA

项目批准号:2022CXGC010104

立项时间:2022-02-01

计划完成时间:2025-02-28

结项日期:2025-02-28

开始日期:2022-02-01