张健
教授
所属院部： 晶体材料研究院
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氧化镥薄膜的低成本、高效制备方法
  • 所属单位：
    晶体材料研究院
  • 专利类型：
    发明
  • 申请号：
    202010992894.2
  • 发明人数：
    5
  • 是否职务专利：
    否
  • 公开日期：
    2021-11-09
  • 授权日期：
    2021-11-09
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