所属单位:新一代半导体材料研究院
论文名称:Effect of nitrogen doping concentration on 4H-SiC laser slicing
发表刊物:Journal of the American Ceramic Society
第一作者:陈秋
论文编号:F446042385FF456791A778937BB905AA
期号:e20555
字数:3
是否译文:否
发表时间:2025-04-04
所属单位:新一代半导体材料研究院
论文名称:Effect of nitrogen doping concentration on 4H-SiC laser slicing
发表刊物:Journal of the American Ceramic Society
第一作者:陈秋
论文编号:F446042385FF456791A778937BB905AA
期号:e20555
字数:3
是否译文:否
发表时间:2025-04-04