一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法

发布时间:2024-10-17|点击次数:

所属单位:新一代半导体材料研究院

专利类型:发明

申请号:202110855731.4

发明人数:10

是否职务专利:否

申请日期:2021-07-28

公开日期:2024-03-22

授权日期:2024-03-22