集成电路溅射靶材关键制备技术研发(子课题2)
点击次数:
所属单位:材料科学与工程学院
负责人姓名:张琳
项目性质:纵向
项目编号:16BF903B90892936E063BE07C2CA26D5
项目批准号:2023CXGC010308-3
立项时间:2023-10-07
开始日期:2023-07-01
计划完成时间:2026-06-30
结项日期:2026-06-30
集成电路溅射靶材关键制备技术研发(子课题2)
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所属单位:材料科学与工程学院
负责人姓名:张琳
项目性质:纵向
项目编号:16BF903B90892936E063BE07C2CA26D5
项目批准号:2023CXGC010308-3
立项时间:2023-10-07
开始日期:2023-07-01
计划完成时间:2026-06-30
结项日期:2026-06-30