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所属单位：新一代半导体材料研究院

负责人姓名：杨克建

项目来源单位：2021年国家自然科学基金

项目性质：纵向

项目级别：国家级

项目编号：D052335E6B113AE4E053BE07C2CA47AB

立项时间：2021-10-12

计划完成时间：2025-12-31

结项日期：2025-12-31

开始日期：2022-01-01

项目批准号：62175130