Title of Project : 基于芯片用的化学增幅型正性光刻胶的制备与产业化关键技术创新

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Project Name:基于芯片用的化学增幅型正性光刻胶的制备与产业化关键技术创新

Affiliation of Participant(s):化学与化工学院

Leading Scientist:张笑来

Supported by:2021年山东省重点研发计划（重大科技创新工程）

Nature of Project:纵向

Project level:省、部委级

Project Number:D35321392A5E159CE053BE07C2CA281C

Date of Project Approval:2021-05-01

Scheduled completion time:2024-05-31

Date of Project Completion:2024-05-31

Date of Project Initiation:2021-05-01

Project Approval Number:2021CXGC010308