项目名称：

高效精准可控的半导体膜状扩散源研发及产业化

所属单位：

集成电路学院

负责人姓名：

王卿璞

项目性质：

纵向

项目级别：

省、部委级

项目编号：

EFB1C2B9EFA95D60E053BE07C2CA55BE

项目批准号：

2022TSGC1093

立项时间：

2022-08-01

计划完成时间：

2024-07-31

结项日期：

2024-07-31

开始日期：

2022-08-01

发布时间：

2024-04-16