非晶硅改性层的内循环式粘弹性流体超光滑抛光理论与技术研究

发布时间:2019-04-18| 点击次数:

项目名称:非晶硅改性层的内循环式粘弹性流体超光滑抛光理论与技术研究

所属单位:机械工程学院

负责人姓名:姚鹏

项目来源单位:省科技厅

项目性质:纵向

项目级别:省、部委级

项目参与人员:姚鹏,邹斌,朱洪涛,刘玥,张振忠

项目编号:kyxm-69081

项目批准号:ZR2018MEE019

立项时间:2018-04-01

计划完成时间:2021-07-01

结项日期:2021-07-01

开始日期:2018-03-01

发布时间:2019-04-18