所属单位：光学高等研究中心

论文名称：Reliability estimation of thin film platinum resistance MEMS thermal mass flowmeter by step-stress accelerated life testing

发表刊物：MICROELECTRONICS RELIABILITY

第一作者：康乔乔

论文编号：80E3D72A6985437E903AC925F733B1E6

期号：147

字数：5

是否译文：否

发表时间：2023-06