所属单位：光学高等研究中心

论文名称：Reliability estimation of thin film platinum resistance MEMS thermal mass flowmeter by step-stress accelerated life testing

发表刊物：MICROELECTRONICS RELIABILITY

第一作者：康乔乔

论文编号：A098C9B322E44912A81431198F6A54DF

卷号：147

字数：4200

是否译文：否

发表时间：2023-08