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Size-dependent pull-in instability of electrostatically actuated microbeam-based MEMS

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所属单位：机械工程学院
发表刊物：Journal of Micromechanics and Microengineerin
全部作者：王炳雷,赵俊峰
第一作者：周
论文类型：应用研究
论文编号：lw-106447
卷号：21
期号：2
页面范围：027001
是否译文：否
发表时间：2011-02-20

上一条：应变梯度对静电力驱动微梁吸合电压的影响

下一条： size dependent pull in phenomena in electrostatically actuated microbeam based on the modified couple stress theory