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静电激励MEMS微结构吸合电压尺寸效应研究

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所属单位：机械工程学院
论文名称：静电激励MEMS微结构吸合电压尺寸效应研究
发表刊物：《固体力学学报》
第一作者：周慎杰
全部作者：赵俊峰,王炳雷,周慎杰
论文编号：lw-117510
卷号：32
期号：6
页面范围：541
字数：5000
是否译文：否
发表时间：2011-12
发布时间：2019-10-24

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