点击次数：
所属单位：机械工程学院
论文名称：Size-dependent pull-in instability of electrostatically actuated microbeam-based MEMS
发表刊物：Journal of Micromechanics and Microengineering
第一作者：王炳雷
论文编号：1395253125241114625
卷号：21
期号：2
页面范围：27001
字数：4
是否译文：否
发表时间：2011-02
发布时间：2022-10-11