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一种测温或电加热用的耐蚀性薄膜基坩埚元件

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专利名称：一种测温或电加热用的耐蚀性薄膜基坩埚元件
所属单位：材料科学与工程学院
专利类型：发明
申请号：201010141285.2
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2010-04-08
公开日期：2011-08-03
授权日期：2010-04-08
发布时间：2018-12-06

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