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左致远
教授
所属院部:
光学高等研究中心
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科研项目
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激光增益器件键合技术开发
所属单位:
新一代半导体材料研究院
负责人姓名:
左致远
项目性质:
横向
项目编号:
E75855510FC851B9E053BE07C2CADE31
立项时间:
2022-08-29
计划完成时间:
2024-12-31
结项日期:
2024-12-31
开始日期:
2022-08-29
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新型偏振片制造工艺
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III-V/SOI键合晶片制备
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