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山东大学
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左致远
教授
所属院部:
光学高等研究中心
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科研项目
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III-V/SOI键合晶片制备
所属单位:
新一代半导体材料研究院
负责人姓名:
左致远
项目性质:
横向
项目编号:
ED0516631622335FE053BE07C2CA4F08
立项时间:
2022-04-01
计划完成时间:
2024-07-31
结项日期:
2024-07-31
开始日期:
2022-04-01
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晶体薄片与高热导率热沉键合封接
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新型偏振片制造工艺
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