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所属单位：机械工程学院

论文名称：Intelligent identification of material removal behavior during scratching of 4H-SiC based on acoustic emission sensing and unsupervised deep learning

发表刊物：Materials Science in Semiconductor Processing

第一作者：张瑞豪

论文编号：949D5A5A5FEA406C8F6DFA8DDCBE2689

卷号：190

期号：1

页面范围：109358

字数：4

是否译文：否

发表时间：2025-05

发布时间：2025-10-06