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High Performance of Amorphous IGZO TFTs with Different Chemical Composition Deposited by PEALD

发布时间:2025-05-27
点击次数:
所属单位:
集成电路学院
第一作者:
郑帅英
论文编号:
4F97E7088D74456899A4255C54E38777
字数:
4
是否译文:
发表时间:
2024-03-31