High Performance of Amorphous IGZO TFTs with Different Chemical Composition Deposited by PEALD
发布时间：2025-05-27
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- 所属单位：
- 集成电路学院
- 论文名称：
- High Performance of Amorphous IGZO TFTs with Different Chemical Composition Deposited by PEALD
- 发表刊物：
- International Conference on Display Technology
- 第一作者：
- 郑帅英
- 论文编号：
- 4F97E7088D74456899A4255C54E38777
- 字数：
- 4
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2024-03
- 发布时间：
- 2025-05-27