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王守志
研究员
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新一代半导体材料集成攻关大平台
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专利
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一种用于助熔剂法生长氨化物单晶的熔体搅挫装置
申请号:
ZL:202223489861.X
是否职务专利:
否
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一种蓝宝石模板上 GaN 单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
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