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王守志
研究员
所属院部:
新一代半导体材料集成攻关大平台
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专利
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一种降低 AIN 晶体生长粉料杂质含量的 方法
申请号:
202211689456.4
是否职务专利:
否
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一种切割不规则半导体晶体的预处理方法
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一种微波辅助加热去除晶体杂质的方法
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