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一种基于电容性超材料结构的人工表面等离激元的微流控检测芯片结构及其制备、检测方法

发布时间：2022-05-31
点击次数：
所属单位：
微电子学院
专利类型：
发明
申请号：
202110298787.4
发明人数：
3
是否职务专利：
否
申请日期：
2021-03-20
公开日期：
2022-05-27
授权日期：
2022-05-27

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