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一种使用暗场光学成像技术判别二维材料层数的方法

发布时间：2023-11-01
点击次数：
所属单位：
集成电路学院
专利类型：
发明
申请号：
202211106087.1
发明人数：
4
是否职务专利：
否
申请日期：
2022-09-09
公开日期：
2023-10-31
授权日期：
2023-10-31

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