教师个人主页
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冯华钰，山东大学集成电路学院副研究员，硕士研究生导师。
入选山东大学青年学者未来计划、博士后国际交流计划引进项目。
主要从事新一代超宽禁带半导体材料——氧化镓的外延、光电器件、功率器件研究，同时并行开展微纳光学方面的研究。氧化镓具有4.4-5.3eV的禁带宽度，相对于SiC和GaN更高的击穿场强，目前已经在日盲紫外光电探测、车载功率器件、射频功率器件等方向展现出了巨大的应用潜力。
氧化镓相关研究由集成电路学院与山东大学新一代半导体研究院氧化镓课题组合作开展。目前实验室已具有多种外延方法，包括Mist-CVD、HVPE，同时氧化物MOCVD外延设备预计2024年中期到位。新一代半导体研究院氧化镓课题组目前拥有国内最先进的氧化镓单晶生长技术，集成电路学院拥有完整的微纳加工平台和测试平台，我们同步开展氧化镓同质外延和异质外延及相关器件的研发工作。
目前，我们已成功生长 2 英寸 Si 掺杂 α-Ga2O3 异质外延片，其日盲光电探测指标处于同行前列；同时我们发展了FIB加工方法，制备的氧化镓日盲光电探测器其相关指标处于世界前列（ACS AMI, 2023；AOM，2023）。
研究方向：
氧化镓外延
氧化镓光电/功率器件
微纳光学
近期文章：
氧化镓方向：
1. Enhancement-Mode Phototransistors Based on β-Ga2O3 Microflakes Fabricated by Focused Ion Beams, H. Yang, H. Y. Feng*, et al., Adv. Optical Mater. 12, 2302213(2023).（封面文章，IF：9）
2. Efficient Suppression of Persistent Photoconductivity in β-Ga2O3 Based Photodetectors with Square Nanopore Arrays, H. Yang, H. Y. Feng*, et al., ACS Appl. Mater. Interfaces 15, 32561(2023).（IF：9.5）
微纳光学方向：
3. Unconventional Transverse Magneto‐Optical Kerr Effect in Cobalt Nanopillar Arrays, T. Cheng, H. Y. Feng*, et al., Adv. Optical Mater. 2303242(2024).
4. Enhanced Faraday Rotation by a Fano Resonance in Substrate-free Three-dimensional Magnetoplasmonic Structures, T. Cheng, H. Y. Feng*, et al., Nanoscale 15, 15583(2023). （封面文章，IF：6.7）
5. Switching the Optical Chirality in Magnetoplasmonic Metasurfaces Using Applied Magnetic Fields, J. Qin, H. Y. Feng, et al., ACS Nano 14, 2808 (2020).
其它方向：
6. A Carbonate-Templated Decanuclear Mn Nanocage with Two Different Silsesquioxane Ligands, K. Sheng, H. Y. Feng*, et al., Inorg. Chem. 60, 14866(2021).（IF：5.1）
7. Quantitative Analysis of the Defects in CVD Grown Graphene by Plasmon-enhanced Raman Scattering，Y. Liu, H. Y. Feng, et al., Carbon 161, 153 (2020).
教学荣誉：
2023年 第十七届 iCan 大学生创新创业大赛 国家一等奖/优秀指导教师
第十届“创青春”中国青年创新创业大赛 国家优秀奖
省级特等奖、一等奖若干
2024年 第四届山东大学教师教学创新大赛 二等奖
毕业学生去向：
焦锡檬：华为
郭晨：华为
杨华荣：京东方-北京晨晶电子
招生：
课题组围绕氧化镓产业链布局，目前拥有国内最完整的氧化镓衬底、外延生长、器件加工工艺，以及完整的半导体芯片测试平台。
每年依托集成电路学院招收2-4名硕士研究生。
欢迎有志于新一代宽禁带半导体外延、器件、功率模块与系统方向的同学报考！
微电子、物理、材料、电子电路等相关专业的同学优先。
有意者请邮件联系：huayu.feng@sdu.edu.cn。
山东大学 ，集成电路学院 ，副研究员
山东大学微电子学院 ，博士后
马德里自治大学/马德里微电子研究所 ，博士研究生
山东大学 ，晶体材料研究所 ，硕士
山东大学 ，物理与微电子学院 ，本科
| 类别 | 专业 | 简介 | 人数 | 年份 |
|---|---|---|---|---|
|
硕士生招生 |
微电子、电路、物理、材料、化学、光学等 |
2 |
2025 |
|
|
硕士生招生 |
微电子学与固体电子学 2人 |
主要从事氧化镓半导体相关的外延、光电器件、功率器件研究 |
2022 |
| 本科生课程名称 | 学期 | 学分 | 课程号 |
|---|---|---|---|
|
微处理器原理与应用实验 |
春学期 |
1.5 |
sd04030760 |
|
微处理器原理与应用 |
春学期 |
2.0 |
sd04031240 |
| 名称 | 简介 |
|---|---|
|
氧化镓外延、光电器件、功率器件 |
本方向主要从事宽禁带半导体材料氧化镓及相关材料的外延生长、光电和功率器件制备研究。目前学院和课题组有Mist-CVD、PLD等外延设备，MOCVD设备将于2024年到位；可以实现2-4英寸同质、异质氧化镓外延生长和掺杂；进一步，基于氧化镓外延薄膜可以制备氧化镓日盲光电探测器、功率器件及电路系统。 |
|
微纳加工、微纳光学及脑机接口 |
本方向基于微纳加工方法，如电子束曝光（EBL）、聚焦离子束（FIB）刻蚀等，实现对于微纳米结构的制备，并应用于微纳光学、脑机接口器件的制备和研究；同时，开展微纳光学器件方向的仿真工作。 |
| 项目名称 | 项目周期 |
|---|---|
|
激光超声膜厚测量设备开发 |
2024/07/09,2026/07/31 |
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超宽禁带半导体氧化镓单晶薄膜制备 |
2024/05/16,2026/05/15 |
|
超声波测厚仪开发 |
2023/11/06,2025/06/30 |
|
4”GaAs-PE晶片减薄工艺开发 |
2022/05/17,2022/07/30 |
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国家自然科学基金青年基金 |
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中国博士后科学基金特别资助（站中）第12批 |
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中国博士后科学基金会面上资助 |
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山东省自然科学基金博士基金 |
【1】欧阳慧佳.High-performance solar-blind photodetector based on Si-doped α-Ga2O3 thin films grown by mist chemical vapor deposition. JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS , 1003,2024.
【2】Cheng, Tong-Huai.Unconventional Transverse Magneto-Optical Kerr Effect in Cobalt Nanopillar ArraysAdv optical Mater,2024.
【3】.Enhancement of solar blind full band absorption in photodetector with Ga2O3 nanopore and Al nanograting. Optics Express, 32:19508-19516,2024.
【4】杨华荣.Enhancement-Mode Phototransistors Based on β-Ga2O3 Microflakes Fabricated by Focused Ion BeamsAdv optical Mater,2023.
【5】程桐怀.Enhanced Faraday rotation by a Fano resonance in substrate-free three-dimensional magnetoplasmonic structures. Nanoscale, 15:15583,2023.
【6】盛凯.A Carbonate-Templated Decanuclear Mn Nanocage with Two Different Silsesquioxane Ligands. Inorganic Chemistry , 60:14866,2021.
【7】杨华荣.Efficient Suppression of Persistent Photoconductivity in β-Ga2O3-Based Photodetectors with Square Nanopore Arrays. ACS. Appl. Mater. Interfaces, 15:32561,2023.
【8】宋金梅.Enhanced extraordinary terahertz transmission through coupling between silicon resonators. NANOSCALE ADVANCES, 4:2494-2500,2022.
【9】张翼飞.Tunable Surface Plasmon Polaritons with Monolithic Schottky DiodesACS Applied Electronic Materials:2124,2019.
【10】时彦朋.Manipulating Optical Absorption of Indium Selenide Using Plasmonic NanoparticlesACS Omega:3000,2020.
【11】刘笑宇.Manipulating Optical Absorption of Indium Selenide Using Plasmonic Nanoparticles. ACS Omega, 5:3000,2020.
【12】张翼飞, 宋爱民, 时彦朋, 王一鸣, 冯华钰, 辛倩 and 王卿璞.Tunable Surface Plasmon Polaritons with Monolithic Schottky DiodesACS Applied Electronic Materials,2019.
【13】冯华钰 and Carolina de Dios.Analysis of the Optical Properties of Chiral Au Nanorod StacksPlasmonics,2018.
【14】冯华钰.Analysis and magnetic modulation of chirooptical properties in anisotropic chiral and magneto-chiral plasmonic systemsOptics Express,2017.
【15】冯华钰.Active magnetoplasmonic split-ring/ring nanoantennasNANOSCALE,2017.
【16】冯华钰 and Gaspar Armelles.Interaction Effects between Magnetic and Chiral Building Blocks: A New Route for Tunable Magneto-chiral Plasmonic StructuresACS Photonics,2015.
【17】冯华钰.From disk to ring: Aspect ratio control of the magnetoplasmonic response in Au/Co/Au nanostructures fabricated by hole-mask colloidal lithographyAPPLIED PHYSICS LETTERS,2015.
【18】冯华钰.Magnetoplasmonic Nanorings as Novel Architectures with Tunable Magneto-optical Activity in Wide Wavelength RangesAdvanced Optical Materials,2014.
