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个人信息Personal Information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：女
毕业院校：美国普林斯顿大学
学历：研究生(博士)毕业
学位：博士生
在职信息：在职
所在单位：海洋研究院/集成电路学院
入职时间：2016-06-12
学科：微电子学与固体电子学
生物医学工程
联系方式：18364119656
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A novel thermally evaporated etching mask for low-damage dry etching
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发表刊物：IEEE Transactions on Nanotechnology
全部作者：Yiming Wang, Gengchang Zhu, Qingpu Wang, Qian Xin
第一作者：Hanbin Wang
论文类型：期刊论文
通讯作者：Lin Han*,Aimin Song*
卷号：16
期号：2
页面范围：290-295
是否译文：否
发表时间：2017-02-01