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个人信息Personal Information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：女
毕业院校：美国普林斯顿大学
学历：研究生(博士)毕业
学位：博士生
在职信息：在职
所在单位：海洋研究院
入职时间：2016-06-12
学科：微电子学与固体电子学
生物医学工程
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A novel thermally evaporated etching mask for low-damage dry etching
点击次数：
论文名称：A novel thermally evaporated etching mask for low-damage dry etching
发表刊物：IEEE Transactions on Nanotechnology
第一作者：Hanbin Wang
通讯作者：Aimin Song*,Lin Han*
全部作者： Qian Xin, Qingpu Wang, Gengchang Zhu,Yiming Wang
论文类型：期刊论文
卷号：16
期号：2
页面范围：290-295
是否译文：否
发表时间：2017-02
发布时间：2024-04-17