Enhanced performance of In-Al-Sn-O films and thin film transistors achieved via regulating the RF magnetron sputtering power
发布时间：2025-11-12 点击数：
所属单位：集成电路学院
论文名称：Enhanced performance of In-Al-Sn-O films and thin film transistors achieved via regulating the RF magnetron sputtering power
发表刊物：Materials Research Bulletin
第一作者：冯潇
全部作者：冯先进
论文编号：5540C3F82F6B4094A90FAED580639922
卷号：186
期号：无
页面范围：113334
字数：5
是否译文：否
发表时间：2025-06