一种类氧化硅柔性薄膜的生长方法，张宇，韩琳，ZL2020106399612，2021-09-24

专利名称：一种类氧化硅柔性薄膜的生长方法，张宇，韩琳，ZL2020106399612，2021-09-24

所属单位：山东大学

专利类型：发明专利

专利状态：授权

申请号：2020106399612

授权号：ZL2020106399612

发明人数：2

是否职务专利：否

申请日期：2020-07-06

授权日期：2021-09-24