一种柔性类氧化硅薄膜生长装置，张宇，韩琳，ZL2020213090488，2021-01-26
发布时间：2024-04-10 点击数：
专利名称：一种柔性类氧化硅薄膜生长装置，张宇，韩琳，ZL2020213090488，2021-01-26
所属单位：山东大学
专利类型：实用新型
专利状态：授权
申请号：2020213090488
授权号：ZL2020213090488
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2020-07-06
授权日期：2021-01-26
专利名称：一种柔性类氧化硅薄膜生长装置，张宇，韩琳，ZL2020213090488，2021-01-26
所属单位：山东大学
专利类型：实用新型
专利状态：授权
申请号：2020213090488
授权号：ZL2020213090488
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2020-07-06
授权日期：2021-01-26