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专利

一种柔性类氧化硅薄膜生长装置，张宇，韩琳，ZL2020213090488，2021-01-26

发布时间：2024-04-10 点击次数：

  • 专利名称：
    一种柔性类氧化硅薄膜生长装置，张宇，韩琳，ZL2020213090488，2021-01-26
  • 所属单位：
    山东大学
  • 专利类型：
    实用新型
  • 专利状态：
    授权
  • 申请号：
    2020213090488
  • 授权号：
    ZL2020213090488
  • 发明人数：
    2
  • 是否职务专利：
    否
  • 申请日期：
    2020-07-06
  • 授权日期：
    2021-01-26
  • 发布时间：
    2024-04-10

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