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个人信息Personal Information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：女
毕业院校：美国普林斯顿大学
学历：研究生(博士)毕业
学位：博士生
在职信息：在职
所在单位：海洋研究院/集成电路学院
入职时间：2016-06-12
学科：微电子学与固体电子学
生物医学工程
联系方式：18364119656
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一种柔性类氧化硅薄膜大面积生长装置，张宇，韩琳，ZL2020212980656，2021-05-11
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所属单位：山东大学
第一作者：韩琳,张宇
发明设计人：韩琳,张宇,韩琳
专利类型：实用新型
专利状态：授权
申请号：2020212980656
授权号：ZL2020212980656
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2020-07-06
授权日期：2021-05-11