一种柔性类氧化硅薄膜大面积生长装置，张宇，韩琳，ZL2020212980656，2021-05-11
发布时间：2024-04-10 点击数：
专利名称：一种柔性类氧化硅薄膜大面积生长装置，张宇，韩琳，ZL2020212980656，2021-05-11
所属单位：山东大学
专利类型：实用新型
专利状态：授权
申请号：2020212980656
授权号：ZL2020212980656
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2020-07-06
授权日期：2021-05-11
专利名称：一种柔性类氧化硅薄膜大面积生长装置，张宇，韩琳，ZL2020212980656，2021-05-11
所属单位：山东大学
专利类型：实用新型
专利状态：授权
申请号：2020212980656
授权号：ZL2020212980656
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2020-07-06
授权日期：2021-05-11