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山东大学
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贾志泰
教授
所属院部:
晶体材料研究院
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科研项目
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高质量氧化镓薄膜外延中的缺陷控制和电学性能调控基础研究
所属单位:
新一代半导体材料研究院
负责人姓名:
李阳
项目性质:
纵向
项目级别:
省、部委级
项目编号:
1AAD07A13C7C25DBE063BE07C2CAB1B6
立项时间:
2023-10-31
计划完成时间:
2026-12-31
结项日期:
2026-12-31
开始日期:
2024-01-01
项目批准号:
ZR2023ZD05-1
下一条:
氧化镓单晶制备及缺陷形成机理研究
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