Removal mechanism and surface quality of crystal semiconductor materials in scratching tests with Berkovich indenter
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所属单位：机械工程学院
发表刊物：Materials Science in Semiconductor Processing
全部作者：朱洪涛,姜兆亮,黄传真
第一作者：章程
论文编号：578217B901CD48C7AE0CCBFDEA0BB182
卷号：105
页面范围：104746
字数：8
是否译文：否
发表时间：2019-09-22
发表时间：2019-09-22