Removal mechanism and surface quality of crystal semiconductor materials in scratching tests with Berkovich indenter
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所属单位：机械工程学院
发表刊物：Materials Science in Semiconductor Processing
第一作者：章程
论文编号：40B8D041581C417A9E901BE623065151
卷号：105
是否译文：否
发表时间：2020-01-01
发表时间：2020-01-01