氧化镥薄膜的低成本、高效制备方法
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Title:氧化镥薄膜的低成本、高效制备方法
Institution:晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）
Type of Patent:Invent
Application Number:202010992894.2
Number of Inventors:5
Service Invention or Not:No
Publication Date:2021-11-09
Authorization Date:2021-11-09
Release Time:2021-11-11