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一种含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料及其制备方法与应用

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Affilication of Author(s):国家胶体材料工程技术研究中心

Type of Patent:发明

Application Number:202211569972.3

Number of Inventors:1

Service Invention or Not:no

Application Date:2022-12-08

Publication Date:2024-01-05

Authorization Date:2024-01-05

Pre One:一种基于单宁酸的正性光刻材料及其制备方法、光刻胶体系及在制备微纳电路中的应用

Next One:一种聚合氮化碳和有机硼酸盐光引发剂体系及其在引发自由基聚合反应中的应用