Effect of sputtering pressure on surface Roughness Oxygen Vacancy and Electrical Properties of a-IGZO Thin Films
发布时间：2019-04-14
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- 所属单位：
- 信息科学与工程学院
- 发表刊物：
- Rare Materials and Engineering
- 第一作者：
- 李玲
- 论文类型：
- 基础研究
- 论文编号：
- lw-182376
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2016-08-10